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白光干涉显微检测仪

白光干涉显微检测仪
产品名称:白光干涉显微检测仪
所属类别:白光干涉显微检测仪
产品人气:1966
更新日期:2014/10/18 21:36:02
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产品介绍

白光干涉显微检测仪    白光干涉仪

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪结合台智公司(Carmar) 的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的
共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。
无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测,应用领域包含:
·触控面板 (Touch Panel)
·太阳能板 (Solar Cell)
·晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
·光盘/硬盘(DVD Disk/Hard Disk)
·微机电元件 (MEMS Components)
·平面液晶显示器(LCD)
·高密度线路印刷电路板( HDI PCB )
·IC封装( IC Package)
·精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)
·以及其它材料分析与元件微表面研究。

相移垂直扫描专利技术,使深度分辨率达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,最高达12 um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。
SWIM-M系列 (通用规格)

 

 

型号 SWIM-1510MS SWIM-2515MS SWIM-4030MS 
SWIM-1510ME SWIM-2515ME SWIM-4030ME 
SWIM-1510MZSWIM-2515MZSWIM-4030MZ
移动台行程 (mm)150 x 100250 x 150400 x 300
机台尺寸 X/Y/Z (mm)510 x 560 x 900570 x 670 x900700 x 990 x 900 
机台重量 (kg)145150296
载重大于 10 kg
轴移动范围80 mm,手动粗调/细调
位置数位显示单元三轴光学尺与三轴计算机数位显示 (分辨率0.5 mm)
倾斜调整平台双轴/手动
底座花岗岩
高度测量
测量范围100 mm ( 400 mm, 选配)
量测分辨率0.1 nm 
重复精度(σ) (1) ≦ 0.1 % ( 量测高度: > 10 m m) 
≦ 10 nm ( 量测高度:1 m m ~ 10 m m) 
≦ 5 nm ( 量测高度: <1 m m )
量测控制自动
扫瞄速度 (mm s)12 (最高)
光源
光源类型仪器用卤素()光源
平均使用寿命1000小时(100W) 500小时(150W)
光强度调整自动 /手动
资料处理与显示用电脑
中央处理运算单元双核心以上CPU
影像与资料显示荧幕17” 液晶荧幕
存储装置200 GB 以上硬盘机
作业系统WindowsXP (2)
电源与环境要求
电源AC110V 220V 50Hz 60Hz
环境振动VC-C等级以上
量测与分析软件
量测软件ImgScan 量测软件 : 
具 VSI  PVSI PSI 量测模式 ( PSI量测模式需另选配PSI模块搭配)
分析软件PostTopo分析软件: 
ISO 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波, 多样的 2D和 3D 观测视角图, 外形/面积/体积分析, 图像缩放, 标准影像档案格式转换, 报表输出, 程序教导量测等。

 

1. 使用20X物镜量测阶高标准重覆30次的结果
2. WindowsXP为美国Microsoft公司注册商标

SWIM-MS /SWIM-ME 系列

适用型号 SWIM-1510MSSWIM-1510ME 
SWIM-2515MSSWIM-1510ME 
SWIM-4030MSSWIM-4030ME
物镜放大倍率10X20X50X
观察与量测范围 MS0.43 X 0.320.21 X 0.160.088 X 0.066
(
单位: mmME1.67 X 1.330.84 X 0.670.34 X 0.27
光学分辨率 (mm)0.920.690.5
收光角度 (Degrees)172333
工作距离 (mm)7.44.73.4
影像传感器黑白 CCD数位摄像机
传感器分辨率MS640 x 480 像素
ME1280 x 1024像素

 SWIM-MZ 系列

 

适用型号 SWIM-1510MZ 
SWIM-2515MZ 
SWIM-4030MZ
物镜放大倍率10X20X50X
变倍倍率 (手动)0.5X  1X  1.5X  2X
观察与量测范围 最小0.21 X 0.160.10 X 0.0790.042 X 0.031
(
单位: mm最大0.86 X 0.640.42 X 0.320.17 X 0.13
光学分辨率 (mm)0.920.690.5
收光角度 (Degrees)172333
工作距离 (mm)7.44.73.4
影像传感器黑白 CCD数位摄像机
传感器分辨率640 x 480 像素

*以上”观察与量测范围”的规格提供参考,以出厂校正后的规格为准。

3D VMM-6060C 产品规格

 

型号 3D VMM-6060C 
移动台行程 (mm)600 x 600 (气浮)
机台尺寸 (mm)1500 x 1300 x 1510
机台重量 (kg)1300
轴移动范围80 mm
位置数位显示单元三轴光学尺与三轴计算机数位显示 (分辨率0.5 mm)
XY示值误差(3 + L/200) um L为被测长度(单位︰mm)
底座/防振花岗岩平台/被动式防振脚
光学系统参考SWIM-MS系列的光学配置
测量范围100 mm ( 400 mm, 选配)
3D高度量测分辨率0.1 nm 
3D高度重覆精度(σ) ≦ 0.1 % ( 量测高度: > 10 m m) 
≦ 10 nm ( 量测高度:1 m m ~ 10 m m) 
≦ 5 nm ( 量测高度: <1 m m )
3D扫瞄速度12 mm (最高)
光源类型高亮度LED光源
光强度调整自动 /电动
CPU /作业系统双核心以上CPU WindowsXP
荧幕/存储装置17” 液晶荧幕/ 200 GB 以上硬盘机
电源AC110V 220V 50Hz  60Hz 
环境振动需求VC-C等级以上
温湿度环境需求温度:20 ± 2 ℃ 湿度:55 ~ 65 % RH
工作气源气压: 0.4 MPa 流量:120 L/min
量测与分析软件3D QIM 5008  ImgScan  PostTopo

* SWIM 全系列产品规格与款式如有变更,恕不另行通知。


 

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